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电子与半导体

内容概述

pa系列工业过程在线分析仪，可应用于电子与半导体行业湿化学制程工艺过程中关键化学组分浓度的在线监测和管控。包括但不限于酸洗、显影、蚀刻、去膜、棕化、除胶、沉铜、镀铜、化锡等过程。

分析仪基于通用型的硬件平台和具备流程编辑功能的软件平台运行，可根据客户特定的检测项目和检测方法需求进行定制。

以下为pcb行业常见管控项目的配置方案示例：

工序	槽体	检测项目	检测方法	配置设备
酸洗	酸洗	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定	pa4015工业过程在线分析仪
显影	显影	碳酸钠（na₂co₃）	酸碱滴定	pa4015工业过程在线分析仪
线路des	显影	碳酸钠（na₂co₃）	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
	蚀刻	酸度	酸碱滴定
	蚀刻	铜离子（cu²）	络合滴定 / 光度分析
	去膜	氢氧化钠（naoh）	酸碱滴定
快速蚀刻	酸洗	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
	闪蚀	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定
		铜离子（cu²）	络合滴定 / 光度分析
		过氧化氢（h₂o₂）	氧化还原电位滴定
棕化	酸洗	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
		铜离子（cu²）	络合滴定 / 光度分析
		过硫酸钠（na₂s₂o₈）	氧化还原电位滴定
	除油	除油剂	酸碱滴定
	棕化	棕化剂	光度分析	pa4025工业过程在线分析仪
		硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定
		铜离子（cu²）	络合滴定 / 光度分析
		过氧化氢（h₂o₂）	氧化还原电位滴定
除胶	蓬松	碳酸钠当量	酸碱滴定	pa4015工业过程在线分析仪
	蓬松	氢氧化钠当量	酸碱滴定	pa4015工业过程在线分析仪
	除胶	六价锰（mn⁶） / 七价锰（mn⁷）	光度分析	pa4025工业过程在线分析仪
		碳酸钠当量	酸碱滴定
		氢氧化钠当量	酸碱滴定
	（预）中和	酸当量	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
	（预）中和	中和剂	氧化还原电位滴定
	酸浸	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定
沉铜	微蚀	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
		铜离子（cu²）	络合滴定 / 光度分析
		过氧化氢（h₂o₂）	氧化还原电位滴定
	酸洗	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定	pa4015工业过程在线分析仪
	预浸	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定	pa4015工业过程在线分析仪
	预浸	铜离子（cu²）	光度分析	pa4015工业过程在线分析仪
	活化	ph	玻璃电极	pa4015工业过程在线分析仪
	活化	钯离子（pd²）	光度分析	pa4015工业过程在线分析仪
	还原	ph	玻璃电极	pa4015工业过程在线分析仪
	还原	还原剂	氧化还原电位滴定	pa4015工业过程在线分析仪
	化铜	甲醛（hcho）氢氧化钠（naoh）	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
		化铜基本剂	氧化还原电位滴定 / 光度分析
		化铜添加剂	氧化还原电位滴定 / 光度分析
镀铜	除油	酸当量	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
	酸洗	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定
	镀铜	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定
		氯离子（cl^-）	沉淀滴定
		五水硫酸铜（cuso₄·5h₂o）	络合滴定 / 光度分析
	剥挂	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
		铜离子（cu²）	络合滴定 / 光度分析
		过氧化氢（h₂o₂）	氧化还原电位滴定
	酸洗	硫酸（h₂so₄）	酸碱滴定
镀铜	镀铜	五水硫酸铜（cuso₄·5h₂o）	光度分析	pa4011工业过程在线分析仪
化锡	除油	除油剂	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
	微蚀	微蚀剂	氧化还原电位滴定
	微蚀	铜离子（cu²）	络合滴定 / 光度分析
	化锡	总酸	酸碱滴定	pa4025工业过程在线分析仪
		硫脲	光度分析
		二价锡（sn²）	光度滴定
		铜离子（cu²）	光度分析
	碱洗	ph	玻璃电极	pa4015工业过程在线分析仪
	去离子	后浸剂	酸碱滴定	pa4015工业过程在线分析仪